近十多年來(lái)科學(xué)技術(shù)日新月異，對于新產(chǎn)品的高精密度化、細小型化之需求更為迫切，同時(shí)對無(wú)塵凈化技術(shù)的設計和發(fā)展提出了更高的要求。萬(wàn)級無(wú)塵車(chē)間在半導體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線(xiàn)路板制造等行業(yè)非常多見(jiàn)。電子制造業(yè)潔凈廠(chǎng)房的設計是一項綜合的技術(shù)，只有充分了解電子制造業(yè)潔凈廠(chǎng)房的設計特點(diǎn)，做到設計合理，才能讓電子制造產(chǎn)業(yè)的產(chǎn)品次品率降低，提高生產(chǎn)效率。

      電子制造業(yè)萬(wàn)級無(wú)塵車(chē)間的潔凈度等級要求高，風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設備排風(fēng)按需受控,照度、潔凈室截面風(fēng)速按設計或規范受控，另外該類(lèi)潔凈室對靜電要求嚴格。其中對濕度的要求尤甚。因為過(guò)于干燥的廠(chǎng)房?jì)纫桩a(chǎn)生靜電，造成CMOS集成損壞。一般來(lái)說(shuō)，電子廠(chǎng)房的溫度應控制在22℃左右，相對濕度控制在50-60%之間(特殊潔凈車(chē)間有相關(guān)溫濕度規定)【推薦使用溫濕度變送器實(shí)時(shí)監測潔凈環(huán)境的溫濕度】，這時(shí)可有效地消除靜電，并使人也感覺(jué)舒適。芯片生產(chǎn)車(chē)間、集成電路無(wú)塵室和磁盤(pán)制造車(chē)間是屬于電子制造行業(yè)潔凈室的重要組成部分，由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過(guò)程中對室內空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求嚴格，主要以控制微粒和浮塵為主要對象，同時(shí)還對其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴格的規定。

1、萬(wàn)級電子無(wú)塵車(chē)間參數要求換氣次數：100000級≥15次；10000級≥20次；1000≥30次；100≥500次；

2、壓差：主車(chē)間對相鄰房間≥5Pa；

3、平均風(fēng)速：10級、100級0.3－0.5m/s；

4、溫度：冬季＞16℃；夏季＜26℃；波動(dòng)±2℃；

5、濕度：45－65％；GMP粉劑車(chē)間濕度在50％左右為宜；電子車(chē)間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。

6、噪聲：≤65dB（A）；

7、照度：300LX；

8、新風(fēng)補充量是總送風(fēng)量的10％－30％。

   萬(wàn)級凈化主要靠潔凈的氣流不斷稀釋室內的空氣，將室內的污染逐漸排出，來(lái)實(shí)現潔凈效果。室內的氣流是以不均勻的速度呈不平行流動(dòng)，拌有回流或渦流，不同等級的凈化車(chē)間，主要是依靠單位時(shí)間內所送風(fēng)量的不同來(lái)實(shí)現。