潔凈室的溫濕度主要是根據您的加工工藝要求來(lái)確定，在滿(mǎn)足加工工藝的條件下，無(wú)塵廠(chǎng)房選擇應該考慮人的舒服感。隨著(zhù)空氣凈化要求的提高，工藝對溫濕度的要求也越來(lái)越高，無(wú)塵凈化車(chē)間需要達到一定的溫濕度等級。

例如在大規模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來(lái)越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線(xiàn)性膨脹，所以需要有土0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導體車(chē)間，這種車(chē)間不宜超過(guò)25度。濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對濕度超過(guò)55時(shí)，冷卻水管壁上會(huì )結露，如果發(fā)生在準確裝置或電路中，就會(huì )引起各種事故。相對濕度在50時(shí)易生銹。

然而對于大部分潔凈空間，為了防止外界污染侵入，需要保持內部的壓力（靜壓）高于外部的壓力（靜壓)。壓力差的維持一般應符合以下原則:

1.潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。

2.相通潔凈室之間的門(mén)要開(kāi)向潔凈度級別高的房間。

3.潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。壓力差的維持依靠新風(fēng)量，這個(gè)新風(fēng)量要能補償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透）風(fēng)量通過(guò)潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。